高溫淬火爐工作原理：
高溫淬火爐的真空系統(tǒng)在工作時(shí)，先啟動(dòng)機(jī)械泵、維持泵和擴(kuò)散泵（加熱），在此同時(shí)打開前閥和維持泵閥，開始對(duì)擴(kuò)散泵內(nèi)抽真空。當(dāng)真空度達(dá)到設(shè)定值時(shí)，羅茨泵啟動(dòng)，同時(shí)旁路閥打開，前閥關(guān)閉，然后對(duì)真空室開始抽低真空。擴(kuò)散泵加熱到規(guī)定溫度且真空度高于規(guī)定值時(shí)，高閥打開，旁路閥關(guān)閉，前閥打開，此時(shí)對(duì)真空室開始抽高真空，達(dá)到要求的真空度之后進(jìn)行熱處理。結(jié)束之后由熱交換器對(duì)真空室充入高純氮?dú)膺M(jìn)行強(qiáng)制冷卻，完成整個(gè)高溫淬火爐的工藝過程。
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